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粗略真空:1000-1mbar,中度真空:1-10-3mbar,高真空度:10-3-10-7mbar,超高真空:10-7-10-10mbar,极超高真空:10-10mbar以下。

道田真空专注于半导体、航空航天、生医科技等众多行业,以技术作为发展导向,通过与国内外行业巨头和国内科研院校合作,有着深厚的技术沉淀,实现了技术国际同步化,服务本地专业化,具备了较强的独立开发和制造能力。

真空系统由真空泵作为真空源,配套相应的真空阀门,真空仪表、智能电控箱、真空罐、过滤器等组成。

道田可根据客户工艺,使用要求针对性设计,亦可来图定制。

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